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显微镜

简要描述:AL120-12 显微镜
光学显微镜由目镜,物镜,粗准焦螺旋,细准焦螺旋,压片夹,通光孔,遮光器,转换器,反光镜;载物台,镜臂,镜筒,镜座,聚光器,光阑组成。

  • 产品型号:AL120-12
  • 更新时间:2022-10-15
  • 产品资料:

AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP(装载口)和FOSB,适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时(包括薄晶圆和变形晶圆)的效率和安全。

人机工程学设计,操作方便

  • 可以自由设置的检查模式,在设计上考虑了后道工程中的操作性,尤为重视设备的操作简便性。

  • 分别对应FOUP(Load Port)和FOSB的两种机型。

坚固、可靠和安全传送

  • 延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性,能够安全可靠的传送300 mm晶圆。

  • 薄片,Warped晶圆皆能安全搬送。

  • 宏观观察位置的优化和操作单元的集中排列,提高了设备的操作舒适性。

专用宏观照明装置

 

为异物、伤痕、膜斑、散焦的发现提供了很好照明方式 
高亮度金属卤化物光源与光纤照明的组合,实现了300 mm晶圆的冷光源全面照射。

AL120-12显微镜

AL120-12显微镜

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