热门搜索：
WJ-5005平常半复消色差明/暗场物镜 45mm长焦物镜
LMPLN-IR/LCPLN-IR奥林巴斯红外线观察用显微镜物镜
PT-GD402电动升降台、位移台 电动滑台升降桌
CCW长工作距物镜 APO长焦物镜 大数值孔径物镜
PP110-（30-75）精密型电动平移台
WF-4R/WF-4RT正置微分干涉显微镜
PT-SW05高精度电动三维转台 三维位移台
PT-GD140G高精度电动平移台 XYZ三轴位移台
HX-39可调LED灯 照明光源 单筒显微镜光源
PJ03-（72-87）升降杆 固定杆 光阑杆
PT-GD130P圆导轨电动平移台 滚珠丝杆精密位移台
CCW-2X长工作距物镜95MM物镜 大数值孔径物镜
WD-5005长焦物镜 长工作距物镜 95MM物镜
SLMPLN长工作距离物镜 平场消色差物镜
PT-QX02精密型手动倾斜台（双轴） 手动位移台
PT-300C/PT-325C手动移动平台 快速移动台 显微镜平台
product
产品分类
显微镜
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 医疗卫生,化工,生物产业,能源,综合 |
AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆，可以安全高效搬送薄片晶圆，非常适合于前道到后道工程的晶圆检查。
适应范围广、搭配灵活
我们推出了200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（对应小于150 mm的晶圆）的3种型号。除此以外，您还可以根据检查模式，选用微观检查专用型号"L型"或微观•宏观检查兼用型号"LMB型"。
薄片检查
对应薄片制造厂家的需求，AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的极薄晶圆。
高度实用性
进一步优化的宏观检查
宏观检查手臂可以360゜旋转，更为容易发现伤痕和微尘。
利用360゜旋转功能，可以目视检查整个晶圆（包括边缘）。此外，在表面宏观检查中，使用操纵杆可随意将晶圆z大倾斜30゜进行观察。
操作便捷
了满足各种常规检查的要求，AL120可以登记多达10个检查程序。使用这一功能可以记录特定的卡盒、晶圆和传输速度。快速菜单选择按钮则可以让操作员立刻切换不同程序。
晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示。 使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT，便于操作者再次确认。
AL120使用非接触光学定位、查找和对齐缺口／平面，可以减少晶圆和设备之间的接触，提高晶圆的清洁度。
高度可靠性
优先考虑晶圆和操作者的安全
为了能够安全的安装晶圆，采用了在装置正面放置片盒的设计。
在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测，同时，在环境保护方面遵守了RoHS指令。
坚固、耐用的显微镜底座
AL120搭载奥林巴斯MX专业晶圆检查显微镜系列，通过各种观测方法，包括：明视场、暗视场、微分干涉（DIC）、近IR（近红外线）和DUV（深紫外线），实现了很好的图像分辨率和清晰度。电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定，可以优化各物镜的照明和对比度。如果特别订制，AL120还可以应用到其他型号的显微镜上。
人机工程学设计的载物台
手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率，标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。
可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台，进一步将检查过程自动化。只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置。
当前位置：
上一个：
返回列表
