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奥林巴斯显微镜明暗场

简要描述:MX61适用于Z大200mm的样本,而MX61L则可适用于Z大300mm的样本。
1、大型载物台搭载:可用于400*300mm液晶基板,300mm晶圆全面检查(MX61L)。
2、采用高NA的透射光聚光镜,图象更锐利。
3、多种观察方式,多种照明方式,多种附件以满足不同应用要求。
4、透射和反射照明可同时使用,极大提高液晶基板观察效果。
奥林巴斯显微镜明暗场显微镜

  • 产品型号:MX61
  • 更新时间:2021-08-09

半导体/FPD检查显微镜;为用户提供高效率。

MX61适用于zui大200mm的样本,而MX61L则可适用于zui大300mm的样本。

1、大型载物台搭载:可用于400*300mm液晶基板,300mm晶圆全面检查(MX61L)。

2、采用高NA的透射光聚光镜,图象更锐利。

3、多种观察方式,多种照明方式,多种附件以满足不同应用要求。

4、透射和反射照明可同时使用,极大提高液晶基板观察效果。


型号

OLYMPUSMX61L型显微镜


光学系统

UIS2光学系统(,无限远校正光学系统,


显微镜镜体

射光照明(F,N,26,5

12V100W卤素灯泡(预定心型) 明视场/暗视场反射镜可外加1个分光镜组(选配),转换使用内置电动孔径光阑(每个物镜可预设,物镜转换时自动转换,暗视场观测时自动打开)


观测方法



反射光明视场法;反射光暗视场法;反射光诺曼尔斯基微分干涉衬比法;反射光简单偏振法;反射光荧光法;反射光照明法(IR透射光明视场法;透射光简单偏振法//需要专门的分光镜组。/需要与透射光照明部件配合使用。


观察镜筒

超宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5 MX-SWETTR

其它:超宽场三目镜筒/宽场双目镜筒

超宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5 MX-SWETTR型或U-SWETTR型(MX-SWETTRMX61L的标准配置)


换镜转盘

电动五孔明/暗视野法用转盘,配备滑槽用于微分干涉衬比法观测:U-D5BDREMC


载物台

MSS-300A12*12寸,行程:356×305mm

原装日本中央精机2轴电动平台,可以进行XY轴同时联动。

12寸晶圆载物台板。


内置反射光源:100-120/220-240V~1,9/0,9,50/60Hz


能耗


体积/重量

体积:约710(宽)×843(长)×507(高)mm

重量:约51kg(载物台约重31kg


奥林巴斯显微镜明暗场显微镜

奥林巴斯显微镜明暗场显微镜




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