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高精度 XYZ三轴调节台电动三维位移台

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产品型号:PT-SN5020
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产品参数:

产品型号PT-SN5020
XY平移参数
结构描述X,Y轴行程50mm
台面尺寸155×155mm
螺杆规格高研丝杆副
导轨精密级交叉滚柱导轨
步进电机(步距角)日本信浓28(1.8°电机)
主体材料铝合金
表面处理阳极氧化发黑
台面承载(kg)10
重量(kg)3.2
精度描述分辨率5μm(无细分),
0.625μm(8细分)
速度6mm/sec
重复定位精度8μm
定位精度(选配光栅)10μm
直线度5μm
运动平行度15μm
俯仰50"
偏摆25"
回程间隙2μm
丢步2μm
可加装光栅尺(G)
可换装伺服电机(D)
Z轴升降参数
结构描述行程20mm
台面尺寸86×86mm
丝杠直推电机丝杠
导程0.794MM
导轨形式交叉滚子导轨
主要材料铝合金
表面处理黑色氧化
自重1.5kg
精度描述分辨率7.938μm (无细分)
0.397μm (20细分)
速度≤5mm/sec
精度1.5μm
承载能力10kg
空行程5μm
平行度50μm
运动平行度15μm
俯仰25"


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